橢圓偏振測(cè)厚儀規(guī)格參數(shù)

發(fā)布時(shí)間： 2022-03-08　　點(diǎn)擊次數(shù)： 529次

橢圓偏振測(cè)厚儀型號(hào)：TPY-1

儀器介紹
采用消光法手動(dòng)調(diào)節(jié)，自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，精度高、靈敏度高、方便測(cè)量。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定、波長(zhǎng)精度高。儀器軟件具有生成表、查表以及精確計(jì)算等功能，方便用戶使用。
規(guī)格參數(shù)
測(cè)量范圍薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10
測(cè)量厚度小示值（nm）≤1
偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測(cè)量膜厚精度（nm）±1
折射率重復(fù)性精度±0.01
入射角調(diào)節(jié)范圍20°～90°精度為0.05°
入射光波長(zhǎng)（nm）632.8
光學(xué)中心高（mm）80
允許樣品尺寸（mm）φ10-φ140，厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*290
主機(jī)重量（kg）25

配置表

	型號(hào)	名稱	數(shù)量
基本配置	TPY-1	橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī)	1臺(tái)
	TPY-1	主機(jī)電控箱	1套
		二氧化硅膜樣片	1片
	TPY-1	橢圓偏振測(cè)厚儀軟件	1套
	需另配	計(jì)算機(jī)及打印機(jī)	1套

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